乘黄智造发布晶圆制造无人工厂CIM系统平台

乘黄智造
2025-06-19


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2025年6月19日，乘黄智造发布晶圆制造无人工厂CIM系统平台 - iQueen CIM v2.0。该CIM平台包括四个部分：

  • iQueen MES v2.0（Manufacturing Execution System）

  • iQueen MBP v1.0 (Manufacturing Business Process）

  • PowerRTD v1.0（Real-time Dispatching）

  • PowerEAP v1.0（Equipment Automation Programming）


以下为系统功能清单：

iQueen MES v2.0

模块功能
WIP Mgt.

  • Lot Query UI

  • Fetch Step

  • Lot Detail Information

  • WIP History

  • Create Lot

  • Start Lot

  • Job Prepare

  • Job In

  • Job Out

  • Data Collection

  • Cancel Job Pre

  • Cancel Job In

  • Hold Lot（Multiple hold）

  • Release Lot

  • Split Lot

  • Merge Lot

  • Reposition Step

  • Reposition Step Rule

  • Future Hold

  • Cancel Future Hold

  • Reassign Lot

  • Scrap Lot

  • UnScrap Lot

  • Terminate Lot

  • Undo Terminate Lot

  • Finish Lot

  • Undo Finish Lot

  • Ship Lot

  • UnShip Lot

Equipment

  • EQP Query UI

  • Change State

Contamination

支持Equipment/Lot/Process Step之间的污染管控；

Equipment

Constraint

  • 支持EQP level/chamber level constraint设置；

  • 支持正向/负向条件设置；

  • 支持process/EQP/lot等属性的条件设置

Split Run Card支持用户从主流程上动态分批及建立临时性分支流程，并控制所有lot子批完成临时分支流程。
Re-Work
支持用户建立可重用的ReWork流程，当lot走到指定站点，系统会根据多路径设定配置自动跳转到指定的ReWork流程。此外，系统还提供相关控制功能。
Reticle Mgmt.管理光罩的状态及位置，上下机台控制，曝光记录；
OCAP
支持设定并管理SPC异常处理流程。
SPC Chart Viewer提供SPC图形化展示界面。

Recipe Chamber Process

支持多chamber工艺控制。
Preventive Maintenance管理机台维护周期和维护任务。
Recovery Run Card
管理机台故障复机异常处理流程。
Carrier

  • 支持自定义载具类型；

  • 支持载具的组合管理；

  • 支持状态转换管控；

Season支持多种类型的season管控

Multi-Project Wafer

支持多个不同客户工单使用一片wafer，且每个客户的工单流程都有所不同。

RTD支持

提供实时准确的派货数据。

EAP Interfaces

提供EAP对接MES的标准接口，支持：

  • Auto-1(Semi Auto)

  • Auto-2(Auto)

  • Auto-3(Full Auto)

ERP Interfaces提供ERP对接MES的标准接口，包括work order、物料等
MES Report Platform
提供整合的Report系统平台，包含DB、ETL、展示平台及基本报表。
MEMS晶圆制造支持

  • Wafer Bonding

  • Wafer De-Bonding

先进封装支持

  • Die to Wafer Bonding & De Bonding

  • Wafer to Wafer Bonding & De Bonding


MOM平台 v1.0 (含二次开发API套件、建模平台)

模块功能
Area

支持工厂区域定义；

支持reason code定义；

Process Plan

支持process plan建模；

支持subplan建模；

支持multiple path建模；

Equipment

支持机台、子机台建模；

支持机台类型定义；

支持设备状态转换管控；

支持life time管控；

WIP

支持多种形态Lot建模；

支持多种形态Component 建模；

EDC & SPC

支持EDC Plan设置；

支持Measurement Spec设置；

支持Chart设置；

支持常见SPC rules的OOC & OOS检查；

User

Privilege

支持指定权限组至用户组；

支持指定权限组至用户；

Durable

支持自定义耐用品类型(如：Reticle)；

支持耐用品维护保养管理；

支持状态转换管控；

Material

支持自定义物料类型(如：光刻胶
)；

支持物料
维护保养管理；

支持状态转换管控；

BOM支持Process step级别的BOM管理；
Q-Time

支持Max & Min Q-Time；

支持multiple path一对多站点Q-Time；


MES系统技术规格

开发框架

ABP.NET Core （开源）

数据库
PostgreSQL （开源）
开发工具

Visual Studio Code

开发语言C#
前端UIWin Form
日志分析

ELK（开源）

部署工具

kubernetes（开源）


PowerEAP v1.0

系统结构

EAP服务端与客户端UI解耦，如下图所示：

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开发模式

脚本化开发：

EAP底层框架支持通用状态机；

通过文件配置EAP Scenario；

开发人员只需要开发业务相关的处理函数，开发效率提升。

开发语言

C#

PowerRTD v1.0
派工规则开发工具

Python （开源）

派工规则基础派工规则（8类）
ELR (Equipment Lot Relationship)

为派工系统提供equipment与lot的关系信息，实时准确

EPR (Equipment process Relationship)

为派工系统提供equipment与process的关系信息，实时准确



上海乘黄智造计算机科技有限公司，
母公司为宁波乘黄智造计算机科技有限责任公司，主营业务为半导体CIM研发及销售。乘黄智造的MES产品底层平台研发始于2005年，积淀深厚。更有来自国内一流晶圆代工大厂的老兵团队加入，系统在半导体制造领域处于国内领先水平。


web site：www.cim.com.cn


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